긴 세월 동안 제진 대책 기술의 축적과 실적을 바탕으로 개발된 δTA는 에어가 필요 없는 소형제진 시스템입니다. 탑재장치중량에 상관없이 저역에서 고역 주파수까지 이 분야 최고수준의 제진 성능을 실현했습니다. 또한 높은 중심을 가진 장치에서도 안정된 제진 효과를 발휘합니다.

δTA는 저역 주파수부터 완벽한 제진이 가능하고, 탑재된 장치의 중량, 중심위치에 좌우되지 않고 안정된 제진 성능을 발휘합니다.?

특징

●연직방향(Z), 수평2방향 (X, Y) 및 각각의 회전방향에 대해 6자유도 액티브로 제어.

●탑재장치의 중량 (평균하중0 ~ 100kg), 중심위치에 상관없이 안정된 제진 효과를 발휘.

●기동 시에 탑재기기의 중심위치를 감지하고, 최적의 제어밸런스를 자동 조정하는 오토 레벨링 기구 포함.

●먼지발생(?塵) 우려가 있는 부재를 배제하고 클린 룸 사용에 대응

●판넬에는 시야 각이 넓고 보기 쉬운 VFD (형광 표시관)을 채용. 또한 암실에서의 사용을 고려해, 광원의 on/off 기능 포함.

용도

●AFM(원자간력 현미경), SPM(주사 프로브 현미경)

●레이저 현미경, 레이저 간섭계

●미소 경도계

●그 외 각종 정밀계측기기

진동전달특성

●무부담 상태, 고중심 상태에서도 뛰어난 제진 효과를 발휘합니다.