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반도체·LCD 연구장비
이온스퍼터코터(Ion Sputter Coater)

** 이온 스퍼터 코터 (Ion Sputter Coater) **
                   

Ion Sputter Coater는 전도성이 없는 시료(Sample) 및 전도성이 약한 시료의 표면에 
플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성시키는 장비로 
전자현미경 분석시 필수적으로 거쳐야 하는 전처리 장비.
Target Material 은 골드(Au)와 백금(Pt)을 주로 사용하며 시료 표면에 설정된 두께로 증착(도금)가능.

 




 

Model : G20 

   1. 7인치 터치 디스플레이로 손쉬운 조작

   2. 한번의 Touch 만으로 진공 → Auto Coating → 진공해제

   3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

   4. Φ14㎜ 의 Sample Stub 총 7개 동시장착 가능

   5. 1 to 10mA의 저 전압 코팅으로 시료의 손상방지

   6. Compact 한 제품 Size 로 설치공간 최소화




Function
 

 - Current : 1mA 단위 설정 (1 to 10)
 - Times : 1초 단위 설정 (1 to 600)
 - Library : 최대 10개 까지 코팅조건 저장 (신규설정 시 Save)
 - Selective Plasma : 정해진 횟수에 따라서 시간을 분배하여 플라즈마 방출 (최대 50 time, 5초 단위 설정)


작동순서 

1. Start 버튼을 터치하면 Rotary pump 를 통해 자동으로 진공이 시작 됩니다. (진공시간 약 1분 소요)

2. 설정된 진공에 도달이 되면 입력된 코팅두께(sec) 로 Plasma 가 발생이 됩니다.

3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

4. 코팅이 완료되면 약 5초 후에 Door 를 open 할 수 있으며 완성된 샘플을 제거할 수 있습니다. 







Specification




 주사 전자 현미경 (SEM) 


 
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*** 스퍼터 코터 ( Quorum사/영국)***

             Sputter Coater ( Q PLUS SERIES )

Model : Q150 Plus Series , Q300 Plus Series

Q Plus 시리즈는 SEM, FE-SEM 및 TEM 응용 분야의 스퍼터 코팅 금속 및 증발식 카본 코팅에 모두 적합합니다.
       

         Q150 Plus Series

Q300 Plus Series



Q Plus 시리즈는 세계적으로 유명한 Quorum의 세계 최고의 시장 코터 제품군으로,
사용하기 쉬운 하나의 플랫폼으로 스퍼터 및 증발 코팅을 제공합니다.
초 미세 코팅이 필수 인 고해상도 현미경(SEM)이 점점 더 많이 사용되고 있습니다.
Q Plus 시리즈는 사용자에게 다양하고 효율적이며 경제적 인 로터리 또는 터보 분자 펌프 코터를 제공합니다.
스퍼터 코터는 산화 및 비산화 금속에 모두 적합하며, 
카본 증발기는 쉽게 교체 할 수있는 탄소 막대 및 탄소 코드 인서트를 사용합니다.

​Q Plus Series benefits

• 카본로드 및 카본 코드를 사용하여 고품질 이미징을위한 초 미세 카본 코팅
• 다양한 타겟 사용 가능 : Au, Au / Pd, Cr, Pt, Pt / Pd, Pd, Cu, Ir, W, ITO, 

                           Al (other targets offered)

※ 문의 주시면 선택하실수 있는 모델별 자세한 명세를 보내 드립니다.

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Model : SC7620 - Mini Sputter Coater

 


SC7620은 컴팩트 한 주사 전자 현미경 (SEM)용 스퍼터 코터이며,
옵션 탄소 장치과 결합하면 이상적인 저렴한 SEM 스퍼터링 및 탄소 코팅 패키지를 만듭니다.
또한 SC7620은 글로 방전 기능이 있는 표준으로 장착되어
탄소 코팅 TEM 그리드 및 기타 표면 수정의 친수화 (습윤)가 가능합니다.

패널 장착된 스위치를 사용하면
스퍼터 코팅과 글로우 방전 모드 사이에서 시스템을 쉽게 변경할 수 있습니다.


** Features **

​1)  Simple Operation
2)  Magnetic deflection sputter coating head
3)  Compact design, small footprint
4)  Glow discharge capability
5)  Carbon fibre evaporation option
6)  Adjustable height specimen stage
7)  Easy to change sputter targets
8)  Robust and reliable

    ** Specifications **
1)  SC7620 'MINI' Sputter Coater :  220-240V
2)  Dimensions : 340mm W x 130mm D x 250mm H (unpacked) excluding Chamber

​3)  Supplied with : SC502-314A Gold target,

                     1m length of 12mm bore flexible vacuum hose,

                     1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump,

                     1 x rotary pump plug,

                      comprehensive operating instructions.

​4)  Rotary pump 100L with Oil Mist Trap ( included ) 


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 주사 전자 현미경 (SEM) 

 

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