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반도체·LCD 연구장비
이온스퍼터코터(Ion Sputter Coater)

** 이온 스퍼터 코터 (Ion Sputter Coater) **
                   

Ion Sputter Coater는 전도성이 없는 시료(Sample) 및 전도성이 약한 시료의 표면에 
플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성시키는 장비로 
전자현미경 분석시 필수적으로 거쳐야 하는 전처리 장비.
Target Material 은 골드(Au)와 백금(Pt)을 주로 사용하며 시료 표면에 설정된 두께로 증착(도금)가능.

 




 

Model : G20 

   1. 7인치 터치 디스플레이로 손쉬운 조작

   2. 한번의 Touch 만으로 진공 → Auto Coating → 진공해제

   3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

   4. Φ14㎜ 의 Sample Stub 총 7개 동시장착 가능

   5. 1 to 10mA의 저 전압 코팅으로 시료의 손상방지

   6. Compact 한 제품 Size 로 설치공간 최소화




Function
 

 - Current : 1mA 단위 설정 (1 to 10)
 - Times : 1초 단위 설정 (1 to 600)
 - Library : 최대 10개 까지 코팅조건 저장 (신규설정 시 Save)
 - Selective Plasma : 정해진 횟수에 따라서 시간을 분배하여 플라즈마 방출 (최대 50 time, 5초 단위 설정)


작동순서 

1. Start 버튼을 터치하면 Rotary pump 를 통해 자동으로 진공이 시작 됩니다. (진공시간 약 1분 소요)

2. 설정된 진공에 도달이 되면 입력된 코팅두께(sec) 로 Plasma 가 발생이 됩니다.

3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

4. 코팅이 완료되면 약 5초 후에 Door 를 open 할 수 있으며 완성된 샘플을 제거할 수 있습니다. 







Specification




 주사 전자 현미경 (SEM) 


 
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*** 스퍼터 코터 ( Quorum사/영국)***

             Sputter Coater ( Q PLUS SERIES )

Model : Q150 Plus Series , Q300 Plus Series

Q Plus 시리즈 스퍼터코터(Sputter Coater)는 SEM, FE-SEM 및 TEM 응용 분야의 스퍼터 코팅 금속 및 증발식 카본코팅(Carbon Coating)에 모두 적합합니다.

 

 


       

         Q150 Plus Series

Q300 Plus Series



Q Plus 시리즈는 세계적으로 유명한 Quorum의 세계 최고의 시장 코터 제품군으로, 사용하기 쉬운 하나의 플랫폼으로 스퍼터 및 증발 코팅을 제공합니다.

초 미세 코팅이 필수 인 고해상도 현미경(SEM)이 점점 더 많이 사용되고 있습니다.
 

Q Plus 시리즈는 사용자에게 다양하고 효율적이며 경제적 인 로터리 또는 터보 분자 펌프 코터를 제공합니다.
스퍼터 코터는 산화 및 비산화 금속에 모두 적합하며, 카본 증발기는 쉽게 교체 할 수있는 탄소 막대 및 탄소 코드 인서트를 사용합니다.

​Q Plus Series benefits

카본로드 및 카본 코드를 사용하여 고품질 이미징을위한 초 미세 카본 코팅
다양한 타겟 사용 가능 : Au, Au / Pd, Cr, Pt, Pt / Pd, Pd, Cu, Ir, W, ITO, 

                           Al (other targets offered)

The Q150V Plus is available in three configurations:

Q150V S Plus   an automatic sputter coater for oxidising metals with ultra-fine grain size. 

                             ​Available sputtering targets include chromium, iridium and all noble metals

Q150V E Plus – an automatic carbon coater (rod/cord) for TEM applications.

                             For carbon coating TEM grids. 

Q150V ES Plus – a combined system capable of both sputtering and carbon coating.

                            The deposition head inserts can be swapped in seconds.

                             Metal evaporation/aperture cleaning option available. 


Recommended high-vacuum applications for Q150V Plus

-       Ultra-high-resolution magnification SEM , FE-SEM

-       Carbon coating of TEM grids

-       Protective platinum layers for FIB

-       R&D of corrosion-, friction-, and wear- protective layers

-       Protective layers on medical devices

-       BSE imaging

-       EDX, WDS, EBSD analysis

-       Carbon coating of replicas

-       Nano-technology e.g. Zeolites, polymer nanobrushes

These products are for Research Use Only. 

 

Q150T Plus - Turbomolecular pumped coater

Q150T Plus는 터보 분자 펌프와 함께 사용하도록 최적화되어 5 x 10-5mmbar까지 낮은 진공을 제공합니다. 이는 고해상도 이미징에 적합한 더 작은 입자 크기를 갖는 산화 금속의 스퍼터링을 가능하게한다. 유사하게,보다 낮은 산란은 고순도의 비정질 탄소 막을 고밀도로 허용한다.

 

The Q150T Plus is available in three configurations: 

- Q150T S Plus   an automatic sputter coater for non-oxidising metals.

                           Sputtering targets include; Cr, Ir, W, ITO, Al  

                           other targets available 

- Q150T E Plus  –  an automatic carbon cord coater for SEM applications such 

                           as EDS and WDS.

                       Metal evaporation/aperture cleaning option available.  

- Q150T ES Plus –  a combined system capable of both sputtering and

                           carbon coating.

                           The deposition heads can be swapped in seconds.

                           Metal evaporation/aperture cleaning option available.

Recommended applications for Q150T Plus: 

•  High-resolution magnification SEM , FE-SEM

•  Protective platinum layers for FIB  

•  R&D of corrosion-, friction-, and wear protective layers  

•  Protective layers on medical devices 

•  BSE imaging  

•  EDX, WDS, EBSD analysis  

•  Carbon coating of replicas  

These products are for Research Use Only. 

 

 

 

Q150R Plus - Rotary Pumped Coater 

The Q150R Plus is suitable for use with Tungsten/LaB6 SEM and Benchtop SEM.

Typical uses: 

Sputter coating of noble metals using the Q150R S & ES Plus:

Recommended for magnifications:

•  up to x 50k using Au, Au/Pd

•  up to x 100k using Pt (optional)

Carbon cord coating for elemental analysis using the Q150R E & ES Plus.

 

The Q150R Plus is available in three configurations: 

- Q150R S Plus   an automatic sputter coater for non-oxidising metals.

                           Available sputtering targets including gold, gold/palladium and platinum

 

- Q150R E Plus  –  an automatic carbon cord coater for SEM applications such as EDS and WDS.   

- Q150R ES Plus –  a combined system system capable of both sputtering and carbon coating.

                             The deposition heads can be swapped in seconds.  

 

Recommended applications for Q150R Plus: 

•   Low and medium magnifications

•   SE signal boost (1nm or less)

•   Table-top SEM coating

•   Elemental analysis

•   Copper metallisation layers   

These products are for Research Use Only. 

 

​ 

Q300T T Plus - triple target sputter coater for specimens up to 200mm diameter

Q300T T Plus는 대형 챔버, 터보 펌핑 코팅 시스템으로, 최대 직경 8 "/ 200mm의 단일 대구경 시편 또는 유사한 직경의 여러 소형 시편을 스퍼터링하는 데 이상적입니다. 박막 응용 분야 및 SEM / FE- SEM 세 개의 스퍼터링 헤드가 장착되어 개별 대형 시편 또는 여러 시편의 균일 한 증착을 보장합니다.
Recommended applications for Q300T T Plus: 
  • Wafer Inspection 
  • Multiple sample preparation for SEM , FE-SEM
These products are for Research Use Only. 

Q300T D Plus - dual target sequential sputtering for specimens up to 150 mm diameter
두 재료의 다층 순차 스퍼터링에 적합한 Q300T D Plus에는 두 개의 독립적 인 스퍼터링 헤드가있어 진공을 끊을 필요없이 두 금속을 순차적으로 스퍼터링 할 수 있습니다. 시스템은 펌핑 시퀀스, 시간, 스퍼터 사이클 수 및 프로세스 중에 사용되는 전류를 제어하는 사용자 정의 레시피로 완전히 자동화됩니다. 두 타겟 사이에서 사이클링함으로써 2 개의 타겟 재료로부터 다양한 두께의 무제한 층이 순차적으로 스퍼터링 될 수있다. 사용하지 않을 때는 타켓을 오염으로부터 보호하기 위해 셔터를 닫습니다.
샘플은 금 (Au) 및 백금 (Pt)과 같은 비산 화성 (귀) 금속을 사용하여 코팅 될 수있다. 미세한 입자 구조를 갖는 코팅을 위해 이리듐 (Ir)이 또한 사용될 수있다. 고품질 진공 시스템을 통해 Q300T D Plus는 크롬 (Cr) 및 알루미늄 (Al)과 같은 산화 금속 타겟을 사용하여 미세 필름 및 코팅을 생성 할 수 있습니다. Q300T D Plus는 크롬 (Cr) 타겟과 금 (Au) 타겟이 기본으로 제공됩니다.
Recommended applications for the Q300T D Plus:
  • Ideal for multi-layer coating 
  • Adhesion studies 
These products are for Research Use Only. 

 

※ 문의 주시면 선택하실수 있는 모델별 자세한 명세를 보내 드립니다.

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Model : SC7620 - Mini Sputter Coater

 


SC7620은 컴팩트 한 주사 전자 현미경 (SEM)용 스퍼터 코터이며,
옵션 탄소 장치과 결합하면 이상적인 저렴한 SEM 스퍼터링 및 탄소 코팅 패키지를 만듭니다.
또한 SC7620은 글로 방전 기능이 있는 표준으로 장착되어
탄소 코팅 TEM 그리드 및 기타 표면 수정의 친수화 (습윤)가 가능합니다.

패널 장착된 스위치를 사용하면
스퍼터 코팅과 글로우 방전 모드 사이에서 시스템을 쉽게 변경할 수 있습니다.


** Features **

​1)  Simple Operation
2)  Magnetic deflection sputter coating head
3)  Compact design, small footprint
4)  Glow discharge capability
5)  Carbon fibre evaporation option
6)  Adjustable height specimen stage
7)  Easy to change sputter targets
8)  Robust and reliable

    ** Specifications **
1)  SC7620 'MINI' Sputter Coater :  220-240V
2)  Dimensions : 340mm W x 130mm D x 250mm H (unpacked) excluding Chamber

​3)  Supplied with : SC502-314A Gold target,

                     1m length of 12mm bore flexible vacuum hose,

                     1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump,

                     1 x rotary pump plug,

                      comprehensive operating instructions.

​4)  Rotary pump 100L with Oil Mist Trap ( included ) 


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*** Plasma Sputter Coater (Model : MNT-JS1600) ***

 



 


 



제품 설명

MNT-JS1600은 금, 백금, 인듐, 팔라듐, 티타늄, 구리, 알루미늄, 코발트 및은 등의 금속 코팅을 만들기 위해 설계된 소형 플라즈마 스퍼터링 코터입니다. 시스템은 75mm 샘플 옵션으로 최대 50mm 직경의 샘플에 적용 할 수 있습니다. 공정을 반복함으로써 더 두꺼운 코팅을 달성 할 수있다. SEM 시료 전처리를위한 전도성 금막 코팅 및 다양한 분야의 장치 프로토 타이핑에 널리 사용됩니다. 플라즈마 스퍼터링 코터는 턴키 솔루션으로, 금 스퍼터링 타겟이 설치된 스퍼터링 헤드 (골드 캐소드), 진공 펌프, 스틸 라이닝이있는 반투명 고무 벨로우즈, KF 25플랜지 및 증발트랩를 포함하여 즉시 사용하기 위해 필요한 모든 액세서리와 함께 배송됩니다.
제품 특징
- 큰 스퍼터링 영역을 갖춘 컴팩트 한 크기와 견고한 디자인.
- 계측기 상태를 표시하고 모니터링하기 위해 샘플 스퍼터링 챔버 진공 게이지 및
   스퍼터링 암페어 미터가 내장되어 있습니다.
금, 백금, 인듐 및 은 등과 같은 다양한 금속 코팅
-  표준 글러브 박스 내에서 사용 가능.
-  75mm 샘플로 맞춤 제작 가능.
Specifications



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 주사 전자 현미경 (SEM) 

 

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