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반도체·LCD 연구장비
이온스퍼터코터(Ion Sputter Coater)

** 이온 스퍼터 코터 (Ion Sputter Coater) **
                   

Ion Sputter Coater는 전도성이 없는 시료(Sample) 및 전도성이 약한 시료의 표면에 
플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성시키는 장비로 
전자현미경 분석시 필수적으로 거쳐야 하는 전처리 장비.
Target Material 은 골드(Au)와 백금(Pt)을 주로 사용하며 시료 표면에 설정된 두께로 증착(도금)가능.

 




 

Model : G20 

   1. 7인치 터치 디스플레이로 손쉬운 조작

   2. 한번의 Touch 만으로 진공 → Auto Coating → 진공해제

   3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

   4. Φ14㎜ 의 Sample Stub 총 7개 동시장착 가능

   5. 1 to 10mA의 저 전압 코팅으로 시료의 손상방지

   6. Compact 한 제품 Size 로 설치공간 최소화




Function
 

 - Current : 1mA 단위 설정 (1 to 10)
 - Times : 1초 단위 설정 (1 to 600)
 - Library : 최대 10개 까지 코팅조건 저장 (신규설정 시 Save)
 - Selective Plasma : 정해진 횟수에 따라서 시간을 분배하여 플라즈마 방출 (최대 50 time, 5초 단위 설정)


작동순서 

1. Start 버튼을 터치하면 Rotary pump 를 통해 자동으로 진공이 시작 됩니다. (진공시간 약 1분 소요)

2. 설정된 진공에 도달이 되면 입력된 코팅두께(sec) 로 Plasma 가 발생이 됩니다.

3. Library 기능으로 자주 사용하는 조건 저장 (최대 10개)

4. 코팅이 완료되면 약 5초 후에 Door 를 open 할 수 있으며 완성된 샘플을 제거할 수 있습니다. 







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