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반도체·LCD 연구장비
슬롯다이코터( Slot Die Coater )

*** 슬롯다이코터( Lab Slot Die Coater ) *** 

 

- 실험실에 최적화된 시트타입 슬롯다이 코팅을 위한 소형 실험장비.

- 실험실 조건의 작은 공간에서도 설치 가능.

- 슬롯다이 소형화로 재료 손실및 경제성 확보.

- 박막 코팅 두께 균일도 향상을 위해 1um 단위로 슬롯다이 높이 조절 가능.

- 다양한 옵션으로 바코터(Bar Coater), 닥터블레이드코터( Dr. Blade Coater)로도 활용 가능.

 





 

 

 Model

 Coating Area

 Speed

 Slot Die Size

 Dimention

 LSD-150

 150 x 150 mm

 1 ~ 50 mm/sec

 200 x 40 x 65 mm

 700 x 450 x 450 mm

 LSD-250

 250 x 250 mm

 1 ~ 50 mm/sec

 300 x 40 x 65 mm

 800 x 550 x 550 mm

 

 

 

 

 

 

 

*** 미니슬롯다이코터( Mini Slot Die Coater ) *** 

-​ 시트 타입 코팅을 위한 테이블 형 소형 실험 장비

- ​레시피 저장 기능을 통한 데이터 관리로 재현성 있는 반복 실험에 적합

- ​서보모터를 사용한 정밀한 위치제어가 가능

- ​Motorize를 통한 1um단위의 슬롯다이 자동 높이 조절

- ​정밀 실린지 펌프 내장 및 모노펌프 옵션 선택 가능



 

 

Model 

Coating Area 

Coating Speed 

Slot Die Size 

Dimention 

MSD-180 

180 x 250 mm 

1 ~ 100 mm/sec 

230 x 40 x 60 mm 

1020 x 650 x 750(H)

MSD-370 

370 x 470 mm 

1 ~ 100 mm/sec 

400 x 40 x 60 mm 

1320 x 850 x 750(H) 

 

 

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