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반도체·LCD 연구장비
플라즈마 스퍼터 코터 ( Plasma Sputter Coater )

 

제품 설명

MNT-JS1600금, 백금, 인듐, 팔라듐, 티타늄, 구리, 알루미늄, 코발트등의 금속 코팅을 만들기 위해 설계된 소형 플라즈마 스퍼터링 코터입니다. 시스템은 75mm 샘플 옵션으로 최대 50mm 직경의 샘플에 적용 할 수 있습니다. 공정을 반복함으로써 더 두꺼운 코팅을 달성 할 수있다. SEM 시료 전처리를위한 전도성 금막 코팅 및 다양한 분야의 장치 프로토 타이핑에 널리 사용됩니다. 플라즈마 스퍼터링 코터는 턴키 솔루션으로, 금 스퍼터링 타겟이 설치된 스퍼터링 헤드 (골드 캐소드), 진공 펌프, 스틸 라이닝이있는 반투명 고무 벨로우즈, KF 25플랜지 및 증발트랩를 포함하여 즉시 사용하기 위해 필요한 모든 액세서리와 함께 배송됩니다.
제품 특징
- 큰 스퍼터링 영역을 갖춘 컴팩트 한 크기와 견고한 디자인.
- 계측기 상태를 표시하고 모니터링하기 위해 샘플 스퍼터링 챔버 진공 게이지 및
   스퍼터링 암페어 미터가 내장되어 있습니다.
 금, 백금, 인듐 및 은 등과 같은 다양한 금속 코팅
-  표준 글러브 박스 내에서 사용 가능.
-  75mm 샘플로 맞춤 제작 가능.

 

 

 

 

 

 

 

Specifications

 

 

 


 

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