Desk Thermal Evaporator – DTT (진공 박막 코팅 시스템)
* 열증발 방식의 박막 증착 장비(Thermal Evaporator) 로 금속 및 유전체 박막 코팅 공정에 적합함.
* 연구용 및 실험실 환경에 적합한 데스크형 진공 박막 증착 시스템.
Desk Thermal Evaporator – DTT
데스크형 열증발 박막증착 장비-DTT 연구실용 박막 증착을 위한 컴팩트 데스크탑 열 증발 코팅 시스템. 3개의 독립적인 증발 소스 구성을 지원하며 boat / basket / coil 방식의 다양한 증발 소스 사용 가능함. 금속 및 유전체 박막 증착, 다층 박막 형성 및 합금 박막 코팅 공정에 적합함. 터보 펌프 기반 고진공 시스템을 통해 빠른 진공 형성과 안정적인 박막 증착 공정 수행 가능함.
Applications(응용분야)
⊙ 금속 박막 증착
⊙ 유전체 박막 증착
⊙ 박막 센서 제작
⊙ 나노 및 마이크로 전자소자 연구
⊙ 광학 코팅
⊙ 태양전지 연구
Key Features
⊙ Multi-layer thermal coatings (다층 열 증착 코팅)
⊙ 대형 챔버
⊙ 펌핑 속도 90 L/s ~ 350 L/s 옵션의 고진공 터보 펌프
⊙ 7 × 10⁻⁶ ~ 7 × 10⁻⁷ Torr 수준의 최종 진공도 달성
⊙ 용량 6 m³/h의 2단 로터리 베인 백킹 펌프 장착
⊙ 풀 레인지 진공 게이지 포함
⊙ 다층 박막 증착을 위해 Boat, Basket, Coil 증발 소스 선택 가능
⊙ 합금 박막 형성을 위한 Co-Evaporation 옵션
⊙ 1 nm 정밀도의 실시간 두께 측정을 위한 Quartz Crystal 모니터링 시스템
⊙ 시간 기반 또는 두께 기반 증착을 수동 또는 자동 방식으로 지원
⊙ 공정 제어 및 데이터 입력을 위한 직관적인 터치스크린
⊙ 네트워크 연결을 통해 업데이트 가능한 사용자 친화적 소프트웨어
⊙ 정밀 제어를 위한 Electronic Shutter
⊙ Rotary Sample Holder 옵션
⊙ 최대 500 °C까지 가능한 2인치 Substrate Heater 옵션
⊙ 2년 보증 제공
Thermal Evaporation Source
본 시스템은 최대 3개의 독립적인 열 증발 소스 장착 가능함.
증발 소스는 다음 타입 사용 가능함.
⊙ Boat
⊙ Basket
⊙ Coil
소스 홀더 길이 5 ~ 9 cm 조절 가능하며 증발 재료 간 교차 오염 최소화 구조로 설계됨.
Touch Screen Control ⊙ 7인치 컬러 터치스크린과 완전 자동 제어 및 데이터 입력 시스템을 갖추고 있음. ⊙ 초보 사용자도 쉽게 운용 가능하도록 설계되어 있음. ⊙ 진공 상태, 전류 및 증착 공정 정보는 디지털 데이터 또는 그래프 형태로 확인 가능. ⊙ 최근 300개의 코팅 공정 정보 저장 가능함.
Technical Specifications
⊙ Boat, Basket, Coil 등 다양한 증발 소스 설치 가능
⊙ 코팅 공정 파라미터 기록 및 그래프 표시 가능
⊙ USB 포트를 통해 그래프 및 증착 공정 데이터 PC 전송 가능
⊙ 압력 변화와 관계없이 코팅 전력 자동 제어
⊙ 수냉식 고전류 전기 피드스루 적용
⊙ 0–100 A high current, protected against short circuit, DC power supply
⊙ 단락 보호 기능 포함
Utilities
⊙ Power: 110 / 220 V
⊙ Frequency: 50 / 60 Hz
⊙ Current: 16 / 25 A
Dimensions
⊙ Height: 60 cm
⊙ Width: 65 cm
⊙ Depth: 50 cm
⊙ Shipping Weight: 약 60 kg
