** Korvus HEX Series Thin Film Deposition System ** 

* 연구 및 산업용 박막 증착 공정을 위해 설계된 모듈형 PVD(Physical Vapour Deposition) 시스템 
* HEX Series는 6면 구조의 알루미늄 고진공 챔버 기반으로 설계 * 다양한 증착 소스와 공정 모듈 추가 가능 * 연구 목적에 맞게 시스템 구성 가능 * 모듈형 구조 적용 * 장비 업그레이드 및 재구성 가능 * 연구 환경 변화에 맞추어 시스템 확장 가능


 

Thin Film Deposition System HEX Series의 특징

* 모듈형 PVD 장비 구조 기반으로 설계 * 6면 구조 알루미늄 챔버 사용 * 각 면에 다양한 기능을 위한 모듈형 패널 장착 가능 * 지원 패널 - Blank Panel - Viewport Panel - Deposition Source Panel - QCM Monitoring Panel - Custom Panel - 모듈형 구조 적용됨 - 다양한 연구 장비 및 공정 모듈 시스템 통합 가능

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* Korvus HEX Series 시스템은 다양한 박막 증착 공정 지원함. * 지원 증착 방식 * RF Magnetron Sputtering * DC Magnetron Sputtering * Thermal Evaporation * Electron Beam Evaporation * Organic Evaporation * 여러 증착 기술 하나의 챔버에서 구성 가능함. * 다양한 연구 및 개발 공정 적용 가능함.

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응용분야

* Korvus HEX Series Thin Film Deposition System은 다양한 연구 및 산업 분야에서 사용됨. * Semiconductor Research * Optical Coatings * Solar Cell Development * Nanomaterials Research * Sensor Materials * Electronic Materials

 

HEX Series Models


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