광표면 사이즈 450 x 450mm
연구, 소량생산용 Batch(일괄)식 장치
● 보다 큰 사이즈의 작업에 대응하는 일괄식 장치● 소량생산용 생산기기로써도 사용가능● 추출식 조사장치● 전원과 Blower를 내장한 일체형 장치● 요청에 따라 커스터마이즈 가능